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拉曼/熒光/光電流綜合測(cè)試系統(tǒng) STS系列

  • 產(chǎn)品型號(hào):
  • 產(chǎn)品時(shí)間:2025-04-02
  • 簡(jiǎn)要描述:拉曼/熒光/光電流綜合測(cè)試系統(tǒng) STS系列,基于RTS-mini顯微系統(tǒng)而搭建,集成拉曼/熒光/光電流原位測(cè)試功能,配合高精度微米電動(dòng)位移臺(tái),實(shí)現(xiàn)Raman/PL Mapping及激光誘導(dǎo)光電流成像。深度表征材料內(nèi)部分子振動(dòng)能級(jí)與轉(zhuǎn)動(dòng)能級(jí)結(jié)構(gòu)信息,光生載流子的生成與復(fù)合機(jī)制,器件吸收和電荷生成的微區(qū)特性,光電材料界面及半導(dǎo)體結(jié)區(qū)的品質(zhì)分布等。
  • 產(chǎn)品介紹

拉曼/熒光/光電流綜合測(cè)試系統(tǒng) STS系列

產(chǎn)品概述

基于RTS-mini顯微系統(tǒng)而搭建,集成拉曼/熒光/光電流原位測(cè)試功能。該系統(tǒng)可原位探測(cè)拉曼、熒光及光電流信號(hào)。配合高精度微米電動(dòng)位移臺(tái),實(shí)現(xiàn)Raman Mapping,PL Mapping以及激光誘導(dǎo)光電流成像(LBIC)。深度表征材料內(nèi)部的分子振動(dòng)能級(jí)與轉(zhuǎn)動(dòng)能級(jí)結(jié)構(gòu)信息,光生載流子的生成與復(fù)合機(jī)制,器件吸收和電荷生成的微區(qū)特性,光電材料界面以及半導(dǎo)體結(jié)區(qū)的品質(zhì)分布等特性。

拉曼/熒光/光電流綜合測(cè)試系統(tǒng) STS系列

拉曼/熒光/光電流綜合測(cè)試系統(tǒng) STS系列技術(shù)參數(shù)

拉曼/拉曼Mapping

拉曼頻移范圍

60-6000cm-1 @532nm激光器

共焦方式

光纖共聚焦

高靈敏度

硅三階拉曼峰的信噪比好于20:1,并能觀察到四階峰

空間分辨率

≤1μm@100X物鏡,NA0.9,532nm單縱模激光器

光譜CCD探測(cè)器

分辨率≥2000x256

量子效率在700nm-870nm區(qū)間處>90%,

光譜范圍:200 ~ 1100 nm

熒光/熒光壽命成像

光譜掃描范圍

200-900nm

最小時(shí)間分辨率

16ps

熒光壽命測(cè)量范圍

500ps-10μs

空間分辨率

≤1μm@100X物鏡@405nm皮秒脈沖激光器

光電流/光電流成像

激光器(光源)

標(biāo)配532nm激光器,能量穩(wěn)定性1%@4小時(shí)

可選配2路激光器用于光電流測(cè)試

數(shù)據(jù)采集

電流源表:Keithley 2450

測(cè)量范圍:1nA – 1A

暗噪聲:50pA

分辨率:20fA

準(zhǔn)確度: 0.03%

探針臺(tái)

直徑65mm真空吸附卡盤(pán)

探針座和樣品整體二維移動(dòng),方便樣品位置與光斑位置重合

樣品位置單獨(dú)二維移動(dòng),方便同類(lèi)樣品更換

樣品位置移動(dòng)行程25mm,分辨率5μm

探針座:XYZ行程12mm,分辨率0.7μm

探針:鎢針,直徑5μm,10μm,20μm可選

測(cè)試功能

光電流掃描(Mapping):可以設(shè)定固定的電壓,逐點(diǎn)獲取電流值

I-V曲線(xiàn)掃描(Mapping):可以設(shè)定*定的電壓區(qū)間,逐點(diǎn)獲取I-V曲線(xiàn)




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